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  • 顕微光音響・発光同時計測によるInGaN量子井戸の内部量子効率のIn組成依存性測定

Research Area

Author

  • 森 恵人*, 高橋 佑知*, 森本 悠也*, 山口 敦史*, 草薙 進, 蟹谷 裕也, 工藤 喜弘, 冨谷 茂隆

Company

  • Sony Group Corporation

Venue

  • JSAP

Date

  • 2021

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顕微光音響・発光同時計測によるInGaN量子井戸の内部量子効率のIn組成依存性測定

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Abstract

近年、窒化物半導体の内部量子効率(IQE)を正確に推定する方法として、我々は光音響・発光同時計測法を提案している。
本研究では、In組成を系統的に変化させたInGaN量子井戸シリーズ(青色~赤色の計5枚)に対して、対物レンズを用いて本手法によるIQE測定を試みた。
推定された各試料のIQEを見ると、In組成が増大するほどIQEが低下するという妥当な結果が得られた。

第82回 応用物理学会秋季学術講演会

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