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  • 微分位相コントラストSTEMを用いたGaN/AlGaN/InGaNマルチヘテロ接合の局所電場観察

Research Area

Author

  • 遠山 慧子*, 関 岳人*, 蟹谷 裕也, 冨谷 茂隆, 幾原 雄一*, 柴田 直哉*

Company

  • Sony Group Corporation

Venue

  • 電気学会論文誌C

Date

  • 2022

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