顕微光音響・発光同時計測によるInGaN量子井戸の内部量子効率のIn組成依存性測定
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近年、窒化物半導体の内部量子効率(IQE)を正確に推定する方法として、我々は光音響・発光同時計測法を提案している。
本研究では、In組成を系統的に変化させたInGaN量子井戸シリーズ(青色～赤色の計5枚)に対して、対物レンズを用いて本手法によるIQE測定を試みた。
推定された各試料のIQEを見ると、In組成が増大するほどIQEが低下するという妥当な結果が得られた。
第82回 応用物理学会秋季学術講演会