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  • DPC STEMを用いたGaN系半導体ヘテロ接合界面における電場定量観察法の開発

Research Area

Author

  • 遠山慧子*, 関岳人*, 蟹谷裕也, 工藤喜弘, 冨谷茂隆, 幾原雄一*, 柴田直哉*

Company

  • Sony Corporation

Venue

  • JCS

Date

  • 2020

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